ASML 完成第 100 台 EUV 光刻机出货：2021 年产能将大增

　　原标题：ASML 完成第 100 台 EUV 光刻机出货：2021 年产能将大增

　　台积电和三星均已投入 5nm 工艺的量产，前者代工的产品包括苹果 A14、M1、华为麒麟 9000 等，后者则包括 Exynos 1080、骁龙 888 等。

　　其实从 7nm 开始，台积电和三星就开始引入 EUV 光刻，但过程层数较少。按照 ASML（阿斯麦）的说法，迭代到 5nm 后，EUV 的层数达到了 10~14 层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的 3nm、2nm，对 EUV 的依赖将更甚。

　　根据最新数据显示，ASML 在 12 月中完成了第 100 台 EUV 光刻机的出货。更加利好的消息是，业内预估 ASML 今年（2021 年）的 EUV 光刻机产能将达到 45~50 台的规模。

　　毕竟，2019 年 ASML 仅出货了 26 台，去年三季度后全年累计出货 23 台（全年预估 35 台），可谓少得可怜。

　　另外，ASML 定于明年中旬交付最新一代 EUV 光刻机 TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升 18%、机器匹配套准精度改进为 1.1nm，单台价格或高于老款的 1.2 亿欧元（约合 9.5 亿元人民币）。